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敞开式直线光栅尺

敞开式直线光栅尺

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敞开式直线光栅尺设计用于需要高精度测

量的机床和系统。典型应用包括:

半导体工业的测量和生产设备

PCB电路板组装机

超精密机床,例如加工光学元件的金刚石刀具,加工磁盘端面车床和加工铁氧体元件的磨床

高精度机床

测量机和比较仪,测量显微镜和其它精密测量设备

直接驱动

机械结构

•敞开式直线光栅尺包括光栅尺或钢带光栅尺和读数头,光栅尺和读数头间无机械接触。

•敞开式直线光栅尺的长光栅直接固定在安装面上。安装面的平面度直接影响直线光栅尺精度。

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